1、特種氣體間應(yīng)設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，并應(yīng)按負(fù)壓設(shè)計(jì)；
2、特種氣體間應(yīng)采用防火隔墻相互隔離；
3、 當(dāng)生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的自燃性特種氣體的儲(chǔ)存量超過57m3時(shí)，應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的特種氣體站；
4、大宗硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備應(yīng)布置在獨(dú)立的開敞式建筑，不得布置在地下室。開敞式建筑應(yīng)帶屋頂遮蓋，外墻面的遮擋部分不得大于三面，且墻體與墻體之間、墻體與屋頂結(jié)構(gòu)之間應(yīng)設(shè)置自然通風(fēng)的空間。硅烷容器與四周障礙物的最小距離小于障礙物高度的2倍時(shí)，大宗硅烷系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置機(jī)械通風(fēng)；
5、硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝氣體盤之間的距離小于9m時(shí)，應(yīng)設(shè)置 2h以上的防火隔斷；
6、 硅烷氣瓶柜內(nèi)的硅烷鋼瓶應(yīng)固定在鋼架上，兩個(gè)鋼瓶之間應(yīng)采用鋼板隔離，鋼板厚度應(yīng)大于或等于6mm；
7、 劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)配置專用容器或堵漏工具、排風(fēng)裝置和劇毒性特種氣體在事故狀態(tài)下的排風(fēng)處理裝置；
8、 劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)設(shè)置雙鎖安全門、防盜窗和防止人員入侵的技術(shù)防范設(shè)施。
