1、 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體應(yīng)與獨立的氣源連接,不得與公用氣源或工藝氣源系統(tǒng)相連;
2、 不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體不得共用同一氣源;
3、 吹掃氣體管線應(yīng)設(shè)置止回閥;
4、 硅烷系統(tǒng)必須采用獨立的惰性氣源進行吹掃;
5、硅烷連接管道鋼瓶側(cè)應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥,硅烷站的安全出口應(yīng)設(shè)置手動緊急切斷按鈕,至少有一個手動緊急切斷按鈕與輸送裝置的距離不應(yīng)小于4.6m。