?LCV：Check valve for vent 排放單向閥，用于氣體排放時保證特氣不會倒流進(jìn)入吹掃氮?dú)饷姘寤蜾撈浚?/span>
?CVP：Check valve 單向閥；
?HPT：High delivery pressure transducer 高壓傳感器，接在鋼瓶出口的后端，調(diào)壓閥的前端，用來顯示鋼瓶內(nèi)氣體的壓力；
?LPT：Delivery pressure transducer 輸送壓力傳感器，安裝在兩級調(diào)壓閥之后，用來顯示調(diào)壓后的氣體輸送壓力值；
?VPT：Vent pressure transducer 排放壓力傳感器，用來顯示氣體排放管路的壓力；
?REG：First stage regulator 一級調(diào)壓閥，用來將鋼瓶的壓力進(jìn)行第一次調(diào)低；
?REG2：Second stage regulator 二級調(diào)壓閥，進(jìn)行第二次調(diào)壓，將鋼瓶壓力調(diào)低到一個合理安全的傳輸壓力；
?HPI：High pressure isolation valve 高壓隔離閥，用于高壓和低壓管路的隔離；
?HPV：High pressure vent valve 高壓排放閥，主要用于鋼瓶吹掃時，工藝氣體的排放和吹掃氮?dú)獾呐欧牛?/span>
?PGI：Purge gas isolation valve 吹掃氣體隔離閥，用于鋼瓶吹掃時，吹掃氮?dú)忾_閉的控制；
?LPV：Low pressure vent valve 低壓排放閥；
?LPI：Auto switch valve 自動切換閥，用于左右兩個鋼瓶的切換；
?PNBV：Purge gas bleed valve 氮?dú)獯祾卟凰篱y；
?PHPI：High Pressure N2 valve 高壓氮?dú)獯祾唛y；
?MIV：Manual isolation valve 手動隔離閥，安裝在面板的出口，用于面板和工藝管路的雙隔離；
?EXV：Expansion valve 擴(kuò)展閥；
?GNBV：Vacuum Generator 真空發(fā)生器，用來產(chǎn)生真空，當(dāng)其氣動閥門打開時，GN2 流經(jīng)真空發(fā)生器，產(chǎn)生真空，用來抽空工藝面板。
