1、可由硅烷制得單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質(zhì)；
2、利用硅烷可以實(shí)現(xiàn)最高的純度、最精細(xì)（可達(dá)原子尺寸）的控制和最靈活多變的化學(xué)反應(yīng)，從而將各種含硅材料按各種需要制成復(fù)雜精細(xì)的結(jié)構(gòu)，這正是現(xiàn)代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。
