?LCV：Check valve for vent 排放單向閥，用于氣體排放時保證特氣不會倒流進入吹掃氮氣面板或鋼瓶；
?CVP：Check valve 單向閥；
?HPT：High delivery pressure transducer 高壓傳感器，接在鋼瓶出口的后端，調壓閥的前端，用來顯示鋼瓶內氣體的壓力；
?LPT：Delivery pressure transducer 輸送壓力傳感器，安裝在兩級調壓閥之后，用來顯示調壓后的氣體輸送壓力值；
?VPT：Vent pressure transducer 排放壓力傳感器，用來顯示氣體排放管路的壓力；
?REG：First stage regulator 一級調壓閥，用來將鋼瓶的壓力進行第一次調低；
?REG2：Second stage regulator 二級調壓閥，進行第二次調壓，將鋼瓶壓力調低到一個合理安全的傳輸壓力；
?HPI：High pressure isolation valve 高壓隔離閥，用于高壓和低壓管路的隔離；
?HPV：High pressure vent valve 高壓排放閥，主要用于鋼瓶吹掃時，工藝氣體的排放和吹掃氮氣的排放；
?PGI：Purge gas isolation valve 吹掃氣體隔離閥，用于鋼瓶吹掃時，吹掃氮氣開閉的控制；
?LPV：Low pressure vent valve 低壓排放閥；
?LPI：Auto switch valve 自動切換閥，用于左右兩個鋼瓶的切換；
?PNBV：Purge gas bleed valve 氮氣吹掃不死閥；
?PHPI：High Pressure N2 valve 高壓氮氣吹掃閥；
?MIV：Manual isolation valve 手動隔離閥，安裝在面板的出口，用于面板和工藝管路的雙隔離；
?EXV：Expansion valve 擴展閥；
?GNBV：Vacuum Generator 真空發(fā)生器，用來產生真空，當其氣動閥門打開時，GN2 流經真空發(fā)生器，產生真空，用來抽空工藝面板。
