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硅烷特氣柜設(shè)計(jì)要求

2023-12-07 13:31:45

1、硅烷由于其極其危險(xiǎn)性，整套系統(tǒng)應(yīng)該設(shè)置獨(dú)立的惰性氣體鋼瓶進(jìn)行吹掃，不得采用管道氮?dú)獯祾撸?/p>

2、應(yīng)該配備惰性吹掃裝置、氣體泄露偵測(cè)器、火焰探測(cè)器等；

3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)；

4、排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m每s。

5、排氣的硅烷濃度較高時(shí)，應(yīng)采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。